国产嫩草视频一区二区-欧美亚洲中文字幕在线-久久中文乱码字幕在线视频-国产精品9999在线-日韩不卡在线最新视频-久久久久久国产精品-极品人妻少妇一区二区三区四区-精品国产乱码久久久久久图片-超碰91人妻一区在线,日韩av 亚洲精品,国产av日韩一区二区三区品官,美女久久久久久久美女

咨詢熱線

18971121198

當前位置:首頁  >  技術文章  >  MC熱點|半導體制程技術進步的“燃料”——光刻膠

MC熱點|半導體制程技術進步的“燃料”——光刻膠

更新時間:2022-11-10      點擊次數(shù):2132

據(jù)第三方機構智研咨詢統(tǒng)計,至2022年quanqiu光刻膠市場規(guī)模將超過100億美元。光刻膠按應用領域分類,可分為 PCB 光刻膠、顯示面板光刻膠、半導體光刻膠及其他光刻膠。quanqiu市場上不同種類光刻膠的市場結(jié)構較為均衡,具體占比可以如下圖所示。

 

 

 據(jù)智研咨詢的數(shù)據(jù)顯示,受益于半導體、顯示面板、PCB產(chǎn)業(yè)東移的趨勢,2019年中國光刻膠市場本土企業(yè)銷售規(guī)模約70億元,quanqiu占比約10%,發(fā)展空間巨大。目前,中國本土光刻膠以PCB用光刻膠為主,平板顯示、半導體用光刻膠供應量占比極低。中國本土光刻膠企業(yè)生產(chǎn)結(jié)構可以如圖所示。

 

 光刻膠的分類

光刻膠又稱光致抗蝕劑,是一種對光敏感的混合液體。其組成部分包括:光引發(fā)劑(包括光增感劑、光致產(chǎn)酸劑)、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他助劑。在紫外光等光照或輻射下,溶解度會發(fā)生變化的薄膜材料。

按曝光波長,可主要分為G-line、I-line、KrF、ArF d&ArF i、EUV等光刻膠。

在大規(guī)模集成電路的制造過程中,一般要對硅片進行超過十次光刻。在每次的光刻和刻蝕工藝中,光刻膠都要通過預烘、涂膠、前烘、對準、曝光、后烘、顯影和蝕刻等環(huán)節(jié),將光罩(掩膜版)上的圖形轉(zhuǎn)移到硅片上。

 

光刻膠是集成電路制造的重要材料:光刻膠的質(zhì)量和性能是影響集成電路性能、成品率及可靠性的關鍵因素。光刻工藝的成本約為整個芯片制造工藝的35%,并且耗費時間約占整個芯片工藝的40%-50%。光刻膠材料約占IC制造材料總成本的4%,市場巨大。因此光刻膠是半導體集成電路制造的核心材料。

 

光刻膠的技術壁壘

光刻膠的生產(chǎn)工藝主要過程是將感光材料、樹脂、溶劑等主要原料在恒溫恒濕 1000 級的黃光區(qū)潔凈房進行混合,在氮氣氣體保護下充分攪拌,使其充分混合形成均相液體,經(jīng)過多次過濾,并通過中間過程控制和檢驗,使其達到工藝技術和質(zhì)量要求,后做產(chǎn)品檢驗,合格后在氮氣氣體保護下包裝、打標、入庫。整個工藝流程可以如下圖所示:

光刻膠的技術壁壘包括配方技術,質(zhì)量控制技術和原材料技術。配方技術是光刻膠實現(xiàn)功能的核心,質(zhì)量控制技術能夠保證光刻膠性能的穩(wěn)定性而高品質(zhì)的原材料則是光刻膠性能的基礎。

 

配方技術:由于光刻膠的下游用戶是IC芯片和FPD面板制造商,不同的客戶會有不同的應用需求,同一個客戶也有不同的光刻應用需求。一般一塊半導體芯片在制造過程中需要進行10-50道光刻過程,由于基板不同、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等,不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣,即使類似的光刻過程,不同的廠商也會有不同的要求。針對以上不同的應用需求,光刻膠的品種非常多,這些差異主要通過調(diào)整光刻膠的配方來實現(xiàn)。因此,通過調(diào)整光刻膠的配方,滿足差異化的應用需求,是光刻膠制造商核心的技術。

 

質(zhì)量控制技術:由于用戶對光刻膠的穩(wěn)定性、一致性要求高,包括不同批次間的一致性,通常希望對感光靈敏度、膜厚的一致性保持在較高水平,因此,光刻膠生產(chǎn)商不僅僅要有齊全的測試儀器,還需要建立一套嚴格的QA體系以保證產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定。

 

原材料技術:光刻膠是一種經(jīng)過嚴格設計的復雜、精密的配方產(chǎn)品,由成膜劑、光敏劑、溶劑和添加劑等不同性質(zhì)的原料,通過不同的排列組合,經(jīng)過復雜、精密的加工工藝而制成。因此,光刻膠原材料的品質(zhì)對光刻膠的質(zhì)量起著關鍵作用。對于半導體化學化學試劑的純度,半導體設備和材料組織(SEMI)制定了統(tǒng)一標準,如下表中所示:

 

光刻膠行業(yè)具有*的行業(yè)壁壘,因此其行業(yè)都呈現(xiàn)寡頭壟斷的局面。光刻膠行業(yè)長年被日本和美國專業(yè)公司壟斷。目前前五大廠商就占據(jù)了光刻膠市場 87%的份額,行業(yè)集中度高。其中,日本 JSR、東京應化、日本信越與富士電子材料市占*加和達到72%。

 

并且高分辨率的 KrF 和 ArF 半導體光刻膠核心技術亦基本被日本和美國企業(yè)所壟斷,產(chǎn)品絕大多數(shù)出自日本和美國公司,如杜邦、JSR 株式會社、信越化學、東京應化工業(yè)、Fujifilm,以及韓國東進等企業(yè)。

 

在半導體和面板光刻膠領域,盡管國產(chǎn)光刻膠距離guoji xianjin水平仍然有差距,但是在政策的支持和自身的不懈努力之下,中國已經(jīng)有一批光刻膠企業(yè)陸續(xù)實現(xiàn)了技術突破。

 

在我國成熟制程、14nm FinFET、存儲廠紛紛建產(chǎn)后,光刻膠作為集成電路光刻工藝的關鍵材料,未來的市場需求將步入高速增長。但目前國內(nèi)晶圓廠的光刻膠大部分依賴于TOK、信越、DOW等品牌,國產(chǎn)化品牌北京科華、瑞紅在I-line光刻膠和KrF光刻膠有所突破,南大光電、上海新陽在ArF光刻膠也有所布局。

 

 

邁可諾技術有限公司
  • 聯(lián)系人:鄧經(jīng)理
  • 地址:洪山區(qū)珞獅南路147號未來城A棟
  • 郵箱:sales@mycroinc.com
  • 傳真:
關注我們

歡迎您關注我們的微信公眾號了解更多信息

掃一掃
關注我們
版權所有©2026邁可諾技術有限公司All Rights Reserved    備案號:    sitemap.xml    總訪問量:627018
管理登陸    技術支持:化工儀器網(wǎng)    
在线视频中文字幕成人-久久精品人妻少妇一区-日韩黄色一级夫妻性生活录像1-伊人中文字幕亚洲 | av天堂亚洲系列第一页-欧美日韩av大片免费观看-成人精品久久久麻豆中文字幕-中文字幕 日韩 二区 超碰caoporn免费-精品人妻一区二区三区蜜桃乌龙-国产一区二区三区御姐-精品久久久久久久久中文字幕 | 久久精品在线视频系列-久久爽视频在线观看-青草青草欧美日本一区二区-色婷婷久久91精品一区二区三区 | 精品丰满熟女少妇一区二区蜜桃-亚洲av欧美av色婷婷伊人-日韩色婷婷中文字幕-超91麻豆精品国产高清在线观看 | 精品香蕉一区二区三区-色婷婷av一区二区三区软件-97超碰在线视频-日韩免费在线中文字幕 | 国产精品久久久久久久白浆-91久久久久久视频盛宴-东京热人妻av一区二区三区-欧美日韩亚洲精品 | 超91久久福利视频-99久久成人国产精品免费-精品九九九热视频这里只有精品-男人的天堂av天堂 | 中文字幕熟女人妻丝袜在线-午夜精品久久久久久久精品乱码开元-聚伦 人妻 少妇 中文字幕-久久久久人妻一区精品色戒 | 国内精品久久久中文字幕-一区二区,中文字幕-91久久久国内精品-绯色av中文字幕一区二区 | 久久精品国产亚洲情色-2020久久国产综合精品swag-日韩成人精品三级在线观看-国产欧美一区二区三区如水 | 久久人妻精品一区二区三区蜜柚-久久精品全国在线播放-熟女阿一区二区三区-少妇精品久久久一区二区免费 | 中文字幕日韩人妻久久-久久躁夜夜躁狠狠躁-亚洲精品中文字幕久久蜜臀-蜜桃视频一区二区三区 | 少妇人妻天堂性色av在线软件-99热在线精品免费全部%2-91高清免费在线观看视频-国产亚洲欧美色视频 | 999国内精品视频在线观看-亚洲丰满性熟妇a v-a天堂最新中文在线-日韩黄色在线 中文字幕 | 婷婷的五月天爱爱-久久99国产综合色-四季av一区二区三区国产-一区二区麻豆国产在线观看 | 丰满大屁股人妻一区二区三区-国产超碰一区在线观看-久久久精品免费视频-久久精品麻豆国产免费高清 | 精品伦理一区二区三区-欧美日韩熟妇人妻中文字幕-精品十欧美日韩-久久久久人妻丝袜一区二区三区 eeuss丝袜诱惑-巨乳美女中出免费看-五月天中文字幕婷婷-五月婷婷六月丁香首页 | 日韩av手机免费播日韩-99999精品视频在线免费观看-精品区一区二区三区人妻so-亚洲在线日韩欧美 | 久久97精品人人做人人爽-日韩欧美一区二区三区在线看-熟妇人妻久久精品一区二区-欧美日韩亚洲高清视频 | 久久久亚洲伦理在线观看-国产精品一线二线三-开心激情性五月天-国产精品99999久久久久久 | 麻豆人妻换人妻69xx-亚洲成a人在线观看-日韩色综合日韩色综合-超碰国语对白自拍 | 蜜桃婷婷狠狠久久综合9色-日韩中文字幕人妻一区二-日韩欧美老色头-精品国产999久久 | 亚洲天堂男人网亚洲天堂女人网-亚洲精品久久中文字幕xx-久久久久久久精美人妻-国产激情黑人91蜜 天天操天天干天天日天天操-人妻少妇久久久一区二区三区-日韩男女三级视频-国产又粗又猛又爽又黄的黄牛视频 | 91黄色免费版下载-91精品久久久久久久新-成人中文字幕av在线-久久久久久精品一区二区蜜桃 | 亚洲成年人在线天堂-人妻精品久久久久中文字幕偷-日韩少妇之情色-日韩在线1区2区3区 | 五月色婷婷之五月色-久久爱爱视频免费看-一区二区三区国产网站麻豆-日韩人妻情色电影 | 成人黄动漫网站在线观看-久久精品人妻综合av_-老色批91久久久久久久久-日韩国产欧美精品 | 91精品国产综合久久久密臀九色-国产又粗又黄又色又爽视频-欧美高清视频一区二区三区三洲-色婷婷亚洲婷婷七 | 91一区二区三区四区五区-久久av一级av少妇av高潮-人妻精品久久久久中文字幕69美1-免费av一区二区三区四区 | 国产麻豆91欧美一区二区-成人黄色在线免费观看一码两码三码-久久亚洲精品视频-1区2区3区在线播放 | 精品伦理一区二区三区-欧美日韩熟妇人妻中文字幕-精品十欧美日韩-久久久久人妻丝袜一区二区三区 eeuss丝袜诱惑-巨乳美女中出免费看-五月天中文字幕婷婷-五月婷婷六月丁香首页 | 日韩四级大黄片-在线人妻少妇一区二区三区-久久99五月天综合伊人-91狠狠综合久久久 | 精品伦精品区一区二区三-91蜜桃精品久久-五十路丰满人妻熟女中文字幕-成年av毛片在线观看免费 | 97精品国产久久久久久-精品乱子伦一区二区三区黄网站-91porny九色91啦-精品黄色av一区二区三区 | 日韩中文字幕在线观看的-国产一区二区三区日韩-亚洲精品亚洲欧洲日韩av-91人妻精品一区二区三区久久久 | 婷婷这里只有精品-日韩av综合.-日韩av俩男操女人吃奶-欧美精品91久久久久 | 国产av自拍第一页-蜜臂久久99精品久久久-久久中文字幕亚洲精品-欧美日韩亚洲在线观看视频 | 日韩国产欧美成人-日韩电影av手机在线观看-伊人中文字幕亚洲天堂-亚州av中文字幕 | 激情五月婷婷色综合-国产又黄又粗又爽又猛的视频-亚洲国产制服丝袜性色av在线-久久99婷婷国产蜜臀 | 东京热视频中文字幕-热久久99热国产精品首页-国产亚洲精品女久久久久久久-成人精品在线免费观看视频 | 午夜精品久久久久久不卡欧美一级-国产精品久久777-日韩老熟妇一区-色婷婷一区二区三区四区成人 |