MPEM-1600

MPEM-12M

MPEM-16M

光罩尺寸

多5英寸

多7英寸

多9英寸

晶圓尺寸

高達(dá)4英寸（無定形）

高達(dá)6英寸（無定形）

高達(dá)8英寸（無定形）

面罩架滑動(dòng)

手動(dòng)卡盤

面具運(yùn)動(dòng)

X =±3毫米，Y =±3毫米

接觸

方法

軟接觸/硬接觸/接近暴露

照明

250W超高壓蒸氣汞燈

500W超高壓蒸氣汞燈

照明不規(guī)則

±5％

有效接觸面積

直徑100毫米

直徑150毫米

直徑200毫米

解析度

3mµ L / S

對(duì)準(zhǔn)

方法

目鏡觀察（精神領(lǐng)域系統(tǒng)）

9英寸視頻

監(jiān)控系統(tǒng)

物鏡

10X兩對(duì)（上/下）

目鏡

NWF 10X（一對(duì)）

--

總放大倍率

100倍

200倍

物鏡分離

15?90毫米

80?140毫米

55?184毫米

聚焦單元

手冊

對(duì)準(zhǔn)范圍

X，Y =±4mmθ
=±22.5°

X，Y =±4mmθ
=±5°

對(duì)齊間隙

09?99微米

對(duì)準(zhǔn)精度

小于±5mm

實(shí)用工具

主機(jī)電源

100-220V AC，50 / 60Hz，15A（600W）

水銀燈電源

100-220V AC，50 / 60Hz，15A（550W）

100-220V，50 / 60Hz，15A（1,100W）

氮?dú)?/span>

0.4?0.5兆帕

100-220V AC，50 / 60Hz，15A（1,100W）

真空壓力

小于21.3kPa
（從大氣壓到-80kPa ）

尺寸（主機(jī)）

750（ 寬）x
820（深）x
1,700（高）mm

940（ 寬）x
860（
深）x 1,670（高）mm

1,200（ 寬）x
1,090（深）x
1,800（高）mm

凈重

大約 450公斤

大約 550公斤

大約 700公斤

選件

NWF 15X目鏡（一對(duì)）
9英寸電視監(jiān)視器系統(tǒng)（黑白）

--
 

MPEM-1600

MPEM-12M

MPEM-16M

（適用
于直徑大為4英寸的晶片）

（適用
于直徑大為6英寸的晶片）

（適用
于直徑大為8英寸的晶片)